臭氧是一種強(qiáng)氧化劑，有廣譜殺菌、快速滅菌的特點，對空氣和水中的微生物，細(xì)菌病毒等均有著極好的滅殺效果，殺菌反應(yīng)后，多余的臭氧會自行分解為氧，無任何有害物殘留物的產(chǎn)生，是世界公認(rèn)的綠色高效環(huán)保殺菌劑。
　　臭氧對霉菌、細(xì)菌、病毒等微生物有極強(qiáng)的滅殺能力，臭氧直接通過破壞其(微生物)RNA和DNA完成的，在滅殺細(xì)菌、病毒類微生物時，則是臭氧先作用于細(xì)胞膜，繼而破壞內(nèi)組織直至溶解死亡。
       使用臭氧消毒需要達(dá)到閥值濃度，臭氧濃度若低于閥值濃度，則無法達(dá)到殺滅細(xì)菌的效果，但濃度過高會使運行成本上升，因此在選用臭氧發(fā)生裝置時，應(yīng)算計好使用范圍所需的臭氧濃度。根據(jù)《消毒技術(shù)規(guī)范》和實踐應(yīng)用數(shù)據(jù)，在GMP制藥車間的潔凈區(qū)，潔凈級別三十萬級取消毒需要保持臭氧濃度N＝5mg/M3，十萬級取N＝10 mg/M3，萬級取N＝30mg/M3，百級取N＝40mg/M3。
        臭氧總用量計算公式為：W＝NV/（1－S）
        式中：W－臭氧總用量（mg/M3）   S－臭氧衰減率S＝40％   V－總體積（M3）   N－潔凈區(qū)域消毒需要保持的臭氧濃度（mg/M3）。    其中V＝V1＋V2＋V3，V1－潔凈區(qū)域總體積；V2－空調(diào)風(fēng)道體積；V3－補(bǔ)充新風(fēng)量造成臭氧損失的有效體積（V3＝總風(fēng)量×20％常規(guī)新風(fēng)更換率×10％（保持潔凈區(qū)域的正壓補(bǔ)充新風(fēng)量）×60％＝總風(fēng)量×1.2％）。
        臭氧不僅對人們有益，同時臭氧也是一種對環(huán)境污染的氣體，我國環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)（GB3095-1996 ）中規(guī)定臭氧的濃度限值（1 小時平均）一級標(biāo)準(zhǔn)為0.12mg/m 3 ；二級標(biāo)準(zhǔn)為0.16mg/m 3 ；三級標(biāo)準(zhǔn)為0.20mg/m 3 。臭氧的工業(yè)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)大多數(shù)國家 很高限值為0.1ppm （0.20mg/m 3 ）。因此利用臭氧消毒殺菌濃度不應(yīng)過高，臭氧發(fā)生器的產(chǎn)量不是越高越好。例如：一般家庭用室內(nèi)殺菌的臭氧發(fā)生器產(chǎn)量應(yīng)在200mg/h 左右， 很高不要超過400mg/h 。這樣，在臭氧殺菌工作30~60min 后，室內(nèi)殘余濃度低于國家衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)要求。需要注意的是，一些過敏體質(zhì)的人，長時間暴露在臭氧含量超過0.18mg/m 3 的環(huán)境下，會出現(xiàn)皮膚刺癢，呼吸不暢，咳嗽及鼻炎等癥狀。濃度再高，會給人體造成更大的傷害。